东莞某半导IC芯片制作业厂，晶圆精加工过程中中行成含硅、氟的特别化工化工废水，的设计解决范围1200吨/日。化工化工废水部分更复杂，所含纳米技术级硅颗料及氢氧化钠，中国传统解决做法不好标准。 工业废水材料及来原 常见的固体废弃物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm粒级）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源工步 ：晶圆刻蚀污废水处理工艺 （45%）、CMP物理化学机械性cnc精密机械加工污废水处理工艺 （40%）、设施设备清洗道路水（15%） 除理施工工艺方法 研发选择"化学上奠定+特种作业膜分离法"技術的路线： 钙盐沉淀物 ：加药氯化钙彻底清除氟化合物（制成CaF2析出） 水解酸化池反馈 ：结合斜板沉淀池剂满足胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm直径膜挪用微细颗粒物 反侵入软件 ：脱盐率>98%，出售率75% 减压蒸馏晶粒 ：浓水段建立氟化物零排污 以后视觉效果 氟化物质量浓度：<8mg/L（少于一个国家二级规范标准10mg/L） 硅含水量：<5mg/L 自然资源英文造纸废水处理率：70%使用冷去塔皮肤补水 危险废弃物减量化：汽化碎渣量较传统意义技艺增多60%