某半导体行业电源芯片手工生产厂在晶圆处里阶段中,利用硅烷做硅概念的生长,废气清洗塔带来高含量含硅污污水 。污污水 具备pH下降大(2-11)、硅含量高的共同点,传统化处里方式易显示硅垢堵赛话题。
污废水 营养成分及源于
废液大部分成份为:
水解性硅酸盐
:SiO₂含量达1000-1500mg/L
磷酸/氢阳极氧化钠
:清洗塔酸碱性清洗液残渣
颗粒状硅
:納米级SiO₂溶液
痕量砷
:主料残渣带去
操作鑫霖环保工作流程
创新技术采用了"二级采和+膜滤出+化掉析出"制作工艺:
1阶段采和
:用CaO改善pH至4-5,提取硅酸钙沉积,硅去掉率60%。
2级与
:加Na₂CO₃将pH发展至9,进的一步沉淀物中剩下硅,串连用镁剂除砷。
超滤膜体统
:0.02μm卫浴陶瓷膜过滤装置微米级硅粒子,通量不稳定性在80LMH。
MVR挥发器
:精提高盐生产废水,析出出Na₂SO₄副企业产品,水使用率超90%。
后面特效
总硅从1500mg/L降低5mg/L以下的
砷分量从0.8mg/L降低0.01mg/L
系统软件无积垢程序运行超2年
年均回收分类处理硝酸钠钠纳米线约800吨