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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业电源芯片手工生产厂在晶圆处里阶段中,利用硅烷做硅概念的生长,废气清洗塔带来高含量含硅污污水 。污污水 具备pH下降大(2-11)、硅含量高的共同点,传统化处里方式易显示硅垢堵赛话题。 污废水 营养成分及源于 废液大部分成份为: 水解性硅酸盐 :SiO₂含量达1000-1500mg/L 磷酸/氢阳极氧化钠 :清洗塔酸碱性清洗液残渣 颗粒状硅 :納米级SiO₂溶液 痕量砷 :主料残渣带去 操作鑫霖环保工作流程 创新技术采用了"二级采和+膜滤出+化掉析出"制作工艺: 1阶段采和 :用CaO改善pH至4-5,提取硅酸钙沉积,硅去掉率60%。 2级与 :加Na₂CO₃将pH发展至9,进的一步沉淀物中剩下硅,串连用镁剂除砷。 超滤膜体统 :0.02μm卫浴陶瓷膜过滤装置微米级硅粒子,通量不稳定性在80LMH。 MVR挥发器 :精提高盐生产废水,析出出Na₂SO₄副企业产品,水使用率超90%。 后面特效 总硅从1500mg/L降低5mg/L以下的 砷分量从0.8mg/L降低0.01mg/L 系统软件无积垢程序运行超2年 年均回收分类处理硝酸钠钠纳米线约800吨

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