该厂为8英尺晶圆制造线模块化的超去离子水系統，经常引发含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属，但硅分子量高易结渣，且电阻值率需以达到18MΩ·cm也能造纸废水治理。多余治理工学艺没法足够新颁行的《电子器材化学工业水危害物排卸细则》（GB39731-2020）越来越排卸限制值。 化工废水物质优点和缺点 主要的严重污染物质 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（颗粒直径0.1-1μm） 特色的标准 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水质标准特质 ：低导电率（<50μS/cm）但硅类化合物形态特征多样化 进行处理工艺生产工艺生产工艺 全新适用"梯级膜分离出来+电去正离子"女子组合加工制作工艺 ： 微滤预外理 ：1μm淘瓷膜过滤大科粒硅，通量保护80LMH 亚铁离子交易树脂材料 ：D201大孔树脂材料首选性活性炭吸附硅酸氧分子 特殊RO模式 ：第一名段回笼率60%，二是段选择高脱硼膜电子器件 EDI电去铝离子 ：电流大小强度2A/m²，坚持除掉多余铁离子 紫外光除菌 ：254nm紫外光线用药量40mJ/cm² 的技术突出点 设计转用阻硅剂（无机胺类包覆物），减慢膜环保问题的周期3倍 EDI接口转型升级流道制定，硅除掉率提高了至99.8% 同屏在线硅解析仪（估测比率0.1-500μg/L）保证 有目的掌控 运作举措 经第三点方探测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L减少为0.3μg/L 系統利用率从原40%升级至68% 膜根换周期长调长至5年，年运转成本低下降35%