业务游戏背景
某较大型半导体器件制造加工工厂坐落在长江三角型中南部,包括制造晶圆和加工器。在制造历程中,晶圆打孔和磨光的阶段行成大量碾磨液焦化废水,日访问量废气投放量上涨约50吨。因此焦化废水底有效较高浓度值悬浮物物、不锈钢正离子及可挥发修改剂,之间废气造成的污染物会对环镜有较为严重的造成的污染,工厂人们非常鑫霖环保专业化加工场地设施。
污废水 物质及种类
打磨抛光液焦化废水基本发源晶圆生产制造中的耐腐蚀机诫打磨抛光(CMP)流程,基本污染源物其中包括:
悬屏颗粒剂物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等粉磨颗粒物,粒度在0.1-1μm,酸度到达2000mg/L。
黑色金属铁离子
:铜、铁、锌等,存在cnc精密机械加工垫变形及晶圆表面层金屬层,铜铝离子浓硫酸浓度约50mg/L。
有机会增多剂
:属于漆层生物剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性成分
:pH值动荡大,一般来说在2-11彼此。
进行处理工艺图流程图
共性废水治理 技艺功能,所采用“预治理 +生物化+程度治理 ”组合起来技艺:
调整池
:义均污水水质储水量,移除酸碱性设定pH至中性粒细胞。
混泥土乳浊液
:加药系统PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),消除悬浮按钮物和橡胶胶体部分,沉降后SS消除率>90%。
催化空气氧化空气氧化
:利用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料可挥发调用剂,COD清掉率达60%。
生态学进行处理
:MBR膜生物体的管式反应器进三步光降解超过充分物,COD减至100mg/L以上。
阴阳离子互转
:多功能聚酯树脂活性炭吸附铜铁离子,溢水铜含量<0.5mg/L。
砂滤+活力性炭活性炭过滤
:以保证出水量清晰,符合《污水渗漏终合废气排放的规定》(GB8978-1996)第一的规定。
然后治疗效果
体统启动固定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铁离子<0.3mg/L。
造纸污水处理率达40%,其他及格减排,年减轻污水减排1.10万吨。
治疗生产成本约15元/吨,远超过市场均。